本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种硬件参数的监控方法、一种硬件参数的监控装置、一种半导体处理系统以及一种计算机可读存储介质。
背景技术：
一般地，半导体处理设备在执行工艺制程时，往往需要诸如冷却设备和热交换器等附属设备的支持，以满足工艺制程的需求。对控制精度要求较高的工艺制程，对于附属设备的硬件参数的状态变化的监控提出了更高的要求，要求准确性高，实时性强。机台需要随时掌握附属设备的硬件参数的状态，便于随时根据硬件参数的状态决定工艺的终止或继续。
为了实时获取附属设备的硬件参数的状态，一般采用通过串口、以太网和通讯总线等实现监视器与附属设备的通信，以便实时获取附属设备的硬件参数的状态，并且，当附属设备的硬件参数的状态异常时，软件会触发报警，中止当前的工艺制程或者告知机台用户，以由机台用户决定是否停止当前的工艺制程。
机台软件在获取附属设备的硬件参数的状态过程中，有时会由于各种硬件干扰，例如，监视器与附属设备件的物理连接线，该物理连接线多且比较杂乱，容易存在硬件干扰，此外，半导体处理设备本身所包括的零部件比较复杂，其也会对附属设备产生硬件干扰。致使软件获取硬件参数的状态失败，通信干扰多数可以通过优化传输线缆，优化屏蔽环境来解决，但是确实存在某些偶发性的干扰，无法通过单纯硬件手段消除。
技术实现要素：
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种硬件参数的监控方法、一种硬件参数的监控装置、一种半导体处理系统以及一种计算机可读存储介质。
为了实现上述目的，本发明的第一方面，提供了一种硬件参数的监控方法，包括：
步骤s110、实时获取硬件参数的实际值；
步骤s120、将所述硬件参数的实际值与预设的硬件参数的目标值进行比较，并当所述硬件参数的实际值与所述硬件参数的目标值一致时，将所述硬件参数的状态标记为第一状态；反之，将所述硬件参数的状态标记为第二状态；
步骤s130、根据所述第一状态或所述第二状态的持续时间，判断所述硬件参数是否存在异常以及硬件是否存在干扰。
可选地，在步骤s110之后和步骤s120之前还包括：
s111、判断获取硬件参数的实际值是否成功，若是，执行步骤s120，若否，将硬件参数的状态标记为第二状态。
可选地，步骤s130具体包括：
当所述第一状态持续了预设时间t时，判定所述硬件参数无异常且硬件不存在干扰；
当所述第二状态持续了预设时间t时，判定所述硬件参数异常和/或硬件存在持续性干扰；
当所述第一状态和所述第二状态交替出现，且所述第二状态持续时间小于预设时间t时，判定所述硬件参数无异常且硬件存在偶发性干扰。
可选地，所述步骤s130还包括：
在判定所述硬件参数异常和/或硬件存在持续性干扰时，输出报警。
可选地，所述监控方法还包括在步骤s110之前进行的：
步骤s101、对硬件参数进行订阅读取的步骤。
可选地，所述监控方法还包括在步骤s120之后和步骤s130之前进行的：
步骤s121、对标记的状态进行订阅读取的步骤。
本发明的第二方面，提供了一种硬件参数的监控装置，包括：
获取模块，用于实时获取硬件参数的实际值；
比较模块，用于将所述硬件参数的实际值与预设的硬件参数的目标值进行比较，并当所述硬件参数的实际值与所述硬件参数的目标值一致时，将所述硬件参数的状态标记为第一状态；反之，将所述硬件参数的状态标记为第二状态；
判断模块，用于根据所述第一状态或所述第二状态的持续时间，判断所述硬件参数是否存在异常以及硬件是否存在干扰。
可选地，所述判断模块，还用于判断所述获取模块是否成功获取到所述硬件参数的实际值，若是，则向所述比较模块发出获取成功信号，若否，则将硬件参数的状态标记为第二状态。
可选地，所述判断模块，还用于：
当所述第一状态持续了预设时间t时，判定所述硬件参数无异常且硬件不存在干扰；
当所述第二状态持续了预设时间t时，判定所述硬件参数异常和/或硬件存在持续性干扰；
当所述第一状态和所述第二状态交替出现，且所述第二状态持续时间小于预设时间t时，判定所述硬件参数无异常且硬件存在偶发性干扰。
可选地，所述监控装置还包括报警模块，用于在所述硬件参数异常和/或硬件存在持续性干扰时，输出报警。
可选地，所述监控装置还包括第一订阅模块，用于对硬件参数进行订阅读取。
可选地，所述监控装置还包括第二订阅模块，用于对标记的状态进行订阅读取。
本发明的第三方面，提供了一种半导体处理系统，所述半导体处理系统包括半导体处理设备、附属于所述半导体处理设备的附属设备以及监控装置，所述监控装置包括前文记载的所述的监控装置，所述获取模块用于实时获取所述附属设备的硬件参数的实际值。
本发明的第四方面，提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如前文记载的所述的硬件参数的监控方法的步骤。
本发明的硬件参数的监控方法、硬件参数的监控装置、半导体处理系统以及计算机可读存储介质。首先，实时获取硬件参数的实际值，其次，将硬件参数的实际值与预设的硬件参数的目标值进行比较，并当硬件参数的实际值与硬件参数的目标值一致时，将硬件参数的状态标记为第一状态；反之，将硬件参数的状态标记为第二状态，最后，根据第一状态或第二状态的持续时间，判断硬件参数是否存在异常以及硬件是否存在干扰。可以准确判断硬件参数是否存在异常或者硬件是否存在持续性干扰或者偶发性干扰，可以在硬件参数异常或者硬件存在持续性干扰时，中止当前工艺制程，而在硬件存在偶发性干扰时，可以不必中止当前工艺制程。因此，能够有效提高工艺质量，降低工艺损失，提高经济效益。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1为本发明第一实施例中硬件参数的监控方法的流程图；
图2为本发明第二实施例中硬件参数的监控装置的结构示意图；
图3为本发明第三实施例中半导体处理系统的结构示意图。
附图标记说明
100：监控装置；
110：获取模块；
120：比较模块；
130：判断模块；
140：报警模块；
150：第一订阅模块；
160：第二订阅模块；
200：半导体处理系统；
210：半导体处理设备；
220：附属设备。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
如图1所示，本发明的第一方面，涉及一种硬件参数的监控方法s100，该监控方法包括：
s110、实时获取硬件参数的实际值。
在本步骤中，例如，可以通过上位机(例如，监视器、电脑等)来实时获取硬件参数的实际值，具体地，可以将上位机通过串口、以太网和通讯总线等实现上位机与下位机的通讯，此处的下位机，可以根据实际需要进行设定，例如，在半导体领域，该下位机可以是附属于半导体处理设备的附属设备，例如，冷却设备和热交换设备等等。此外，对于硬件参数，以冷却设备为例，该硬件参数可以是冷却气体的流量或者冷却气体的温度等等。除此以外，硬件参数可以根据不同的应用场景进行设定。
s120、将硬件参数的实际值与预设的硬件参数的目标值进行比较，并当硬件参数的实际值与硬件参数的目标值一致时，将硬件参数的状态标记为第一状态；反之，将硬件参数的状态标记为第二状态。
具体地，在本步骤中，例如，可以通过比较器对获取到的硬件参数的实际值与硬件参数的目标值进行比较，从而可以得到硬件参数实际值是否与预设的硬件参数的目标值一致。当然，除了可以使用比较器以外，还可以采用其他的一些元器件，其只要能够将硬件参数的实际值与硬件参数的目标值进行比较即可。
需要说明的是，在本步骤中提及到的预设的硬件参数的目标值，可以根据实际需要进行确定，该预设的硬件参数的目标值应当是能够有效满足工艺需求的硬件参数值。例如，在半导体领域，硬件参数可以是冷却气体的流量，其预设的目标值可以为冷却气体流量为20sccm～30sccm等等。
s130、根据第一状态或第二状态的持续时间，判断硬件参数是否存在异常以及硬件是否存在干扰。
具体地，在本步骤中，至于如何根据第一状态或第二状态的持续时间，判断硬件参数是否存在异常以及硬件是否存在干扰，并没有作出具体限定，例如，可以设定一个基准时间，当第一状态持续了基准时间时，可以判定硬件参数正常并且不存在干扰，当第二状态持续了基准时间时，可以判定硬件参数异常或者硬件存在持续性干扰，当第一状态和第二状态交替变换时，此时，硬件参数无异常，同时，可以判定硬件存在偶发性干扰。
本实施例中的硬件参数的监控方法s100，首先，实时获取硬件参数的实际值，其次，将硬件参数的实际值与预设的硬件参数的目标值进行比较，并当硬件参数的实际值与硬件参数的目标值一致时，将硬件参数的状态标记为第一状态；反之，将硬件参数的状态标记为第二状态，最后，根据第一状态或第二状态的持续时间，判断硬件参数是否存在异常以及硬件是否存在干扰。本实施例中的硬件参数的监控方法s100，可以准确判断硬件参数是否存在异常或者硬件是否存在持续性干扰或者偶发性干扰，可以在硬件参数异常或者硬件存在持续性干扰时，中止当前工艺制程，而在硬件存在偶发性干扰时，可以不必中止当前工艺制程。因此，能够有效提高工艺质量，降低工艺损失，提高经济效益。
可选地，在步骤s110之后和步骤s120之前还包括：
s111、判断获取硬件参数的实际值是否成功，若是，执行步骤s120，若否，将硬件参数的状态标记为第二状态。
也就是说，在本步骤中，如果存在硬件干扰，可能导致获取硬件参数的实际值失败的状态，此时，一旦获取失败，则将硬件参数的状态标记为第二状态，表征硬件可能存在持续性干扰。
可选地，步骤s130具体包括：
当第一状态持续了预设时间t时，判定硬件参数无异常且硬件不存在干扰；
当第二状态持续了预设时间t时，判定硬件参数异常和/或硬件存在持续性干扰；
当第一状态和第二状态交替出现，且第二状态持续时间小于预设时间t时，判定硬件参数无异常且硬件存在偶发性干扰。
可选地，步骤s130还包括：
在判定硬件参数异常和/或硬件存在持续性干扰时，输出报警，从而能够提醒机台用户，便于机台用户采取应对措施，例如，机台用户决定是否中止当前工艺制程等等。
可选地，监控方法还包括在步骤s110之前进行的：
步骤s101、对硬件参数进行订阅读取的步骤。
具体地，在本步骤中，机台用户可以向上位机发送订阅读取硬件参数的请求(例如，该订阅读取硬件参数的请求可以是：冷却设备的冷却气体的流量)，上位机在接收到该订阅读取硬件参数的请求后，可以将该请求发送到下位机(例如，冷却设备)，从而可以对该冷却设备的硬件参数(冷却气体的流量)进行订阅读取。
可选地，监控方法还包括在步骤s120之后和步骤s130之前进行的：
步骤s121、对标记的状态进行订阅读取的步骤。
同样地，机台用户可以向上位机发送订阅读取状态的请求(例如，订阅读取第一状态或订阅读取第二状态)，上位机在接收到该订阅读取状态的请求后，可以将该请求发送到下位机(例如，冷却设备)，从而可以对该冷却设备的状态(第一状态或第二状态)的持续时间进行订阅读取。
本发明的第二方面，如图2所示，提供了一种硬件参数的监控装置100，该监控装置100可以用于前文记载的监控方法中，下文中未提及的相关内容可以参考前文相关记载，在此不作赘述。该监控装置100包括：
获取模块110，用于实时获取硬件参数的实际值；
比较模块120，用于将硬件参数的实际值与预设的硬件参数的目标值进行比较，并当硬件参数的实际值与硬件参数的目标值一致时，将硬件参数的状态标记为第一状态；反之，将硬件参数的状态标记为第二状态；
判断模块130，用于根据第一状态或第二状态的持续时间，判断硬件参数是否存在异常以及硬件是否存在干扰。
本实施例中的监控装置100，首先，利用获取模块110实时获取硬件参数的实际值，其次，比较模块120将硬件参数的实际值与预设的硬件参数的目标值进行比较，并当硬件参数的实际值与硬件参数的目标值一致时，将硬件参数的状态标记为第一状态；反之，将硬件参数的状态标记为第二状态，最后，判断模块130根据第一状态或第二状态的持续时间，判断硬件参数是否存在异常以及硬件是否存在干扰。本实施例中的硬件参数的监控装置100，可以准确判断硬件参数是否存在异常或者硬件是否存在持续性干扰或者偶发性干扰，可以在硬件参数异常或者硬件存在持续性干扰时，中止当前工艺制程，而在硬件存在偶发性干扰时，可以不必中止当前工艺制程。因此，能够有效提高工艺质量，降低工艺损失，提高经济效益。
可选地，判断模块130，还用于判断获取模块110是否成功获取到硬件参数的实际值，若是，则向比较模块120发出获取成功信号，若否，则将硬件参数的状态标记为第二状态。
可选地，判断模块130，还用于：
当第一状态持续了预设时间t时，判定硬件参数无异常且硬件不存在干扰；
当第二状态持续了预设时间t时，判定硬件参数异常和/或硬件存在持续性干扰；
当第一状态和第二状态交替出现，且第二状态持续时间小于预设时间t时，判定硬件参数无异常且硬件存在偶发性干扰。
可选地，如图2所示，上述监控装置100还包括报警模块140，用于硬件参数异常和/或硬件存在持续性干扰时，输出报警。
可选地，如图2所示，上述监控装置还包括第一订阅模块150，用于对硬件参数进行订阅读取。
可选地，如图2所示，上述监控装置100还包括第二订阅模块160，用于对标记的状态进行订阅读取。
需要说明的是，第一订阅模块150和第二订阅模块160可以为同一个订阅模块。
本发明的第三方面，如图3所示，提供了一种半导体处理系统200，该半导体处理系统200包括半导体处理设备210、附属于半导体处理设备210的附属设备220以及监控装置100，该监控装置100包括前文记载的监控装置100，其中，获取模块110用于实时获取附属设备220的硬件参数的实际值。
本实施例中的半导体处理系统200，其包括半导体处理设备210、附属设备220以及监控装置100，该监控装置100为前文记载的监控装置100的结构，其可以利用获取模块110实时获取硬件参数的实际值，比较模块120将硬件参数的实际值与预设的硬件参数的目标值进行比较，并当硬件参数的实际值与硬件参数的目标值一致时，将硬件参数的状态标记为第一状态；反之，将硬件参数的状态标记为第二状态，最后，判断模块130根据第一状态或第二状态的持续时间，判断硬件参数是否存在异常以及硬件是否存在干扰。本实施例中的半导体处理系统200，可以准确判断硬件参数是否存在异常或者硬件是否存在持续性干扰或者偶发性干扰，可以在硬件参数异常或者硬件存在持续性干扰时，中止当前工艺制程，而在硬件存在偶发性干扰时，可以不必中止当前工艺制程。因此，能够有效提高工艺质量，降低工艺损失，提高经济效益。
需要说明的是，半导体处理系统200可以包括多个附属于半导体处理设备210的附属设备220，例如，该附属设备220可以包括冷却设备、热交换设备等等。
本发明的第四方面，提供了一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现如前文记载的硬件参数的监控方法的步骤。
本实施例的计算机可读存储介质，其所存储的计算机程序在被处理器执行时，可以实现前文记载的硬件参数的监控方法的步骤，可以准确判断硬件参数是否存在异常或者硬件是否存在持续性干扰或者偶发性干扰，可以在硬件参数异常或者硬件存在持续性干扰时，中止当前工艺制程，而在硬件存在偶发性干扰时，可以不必中止当前工艺制程。因此，能够有效提高工艺质量，降低工艺损失，提高经济效益。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
技术特征：
1.一种硬件参数的监控方法，其特征在于，包括：
步骤s110、实时获取硬件参数的实际值；
步骤s120、将所述硬件参数的实际值与预设的硬件参数的目标值进行比较，并当所述硬件参数的实际值与所述硬件参数的目标值一致时，将所述硬件参数的状态标记为第一状态；反之，将所述硬件参数的状态标记为第二状态；
步骤s130、根据所述第一状态或所述第二状态的持续时间，判断所述硬件参数是否存在异常以及硬件是否存在干扰。
2.根据权利要求1所述的硬件参数的监控方法，其特征在于，在步骤s110之后和步骤s120之前还包括：
s111、判断获取硬件参数的实际值是否成功，若是，执行步骤s120，若否，将硬件参数的状态标记为第二状态。
3.根据权利要求2所述的硬件参数的监控方法，其特征在于，步骤s130具体包括：
当所述第一状态持续了预设时间t时，判定所述硬件参数无异常且硬件不存在干扰；
当所述第二状态持续了预设时间t时，判定所述硬件参数异常和/或硬件存在持续性干扰；
当所述第一状态和所述第二状态交替出现，且所述第二状态持续时间小于预设时间t时，判定所述硬件参数无异常且硬件存在偶发性干扰。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的硬件参数的监控方法，其特征在于，所述步骤s130还包括：
在判定所述硬件参数异常和/或硬件存在持续性干扰时，输出报警。
5.根据权利要求1至3中任意一项所述的硬件参数的监控方法，其特征在于，所述监控方法还包括在步骤s110之前进行的：
步骤s101、对硬件参数进行订阅读取的步骤。
6.根据权利要求1至3中任意一项所述的硬件参数的监控方法，其特征在于，所述监控方法还包括在步骤s120之后和步骤s130之前进行的：
步骤s121、对标记的状态进行订阅读取的步骤。
7.一种硬件参数的监控装置，其特征在于，包括：
获取模块，用于实时获取硬件参数的实际值；
比较模块，用于将所述硬件参数的实际值与预设的硬件参数的目标值进行比较，并当所述硬件参数的实际值与所述硬件参数的目标值一致时，将所述硬件参数的状态标记为第一状态；反之，将所述硬件参数的状态标记为第二状态；
判断模块，用于根据所述第一状态或所述第二状态的持续时间，判断所述硬件参数是否存在异常以及硬件是否存在干扰。
8.根据权利要求7所述的硬件参数的监控装置，其特征在于，所述判断模块，还用于判断所述获取模块是否成功获取到所述硬件参数的实际值，若是，则向所述比较模块发出获取成功信号，若否，则将硬件参数的状态标记为第二状态。
9.根据权利要求8所述的硬件参数的监控装置，其特征在于，所述判断模块，还用于：
当所述第一状态持续了预设时间t时，判定所述硬件参数无异常且硬件不存在干扰；
当所述第二状态持续了预设时间t时，判定所述硬件参数异常和/或硬件存在持续性干扰；
当所述第一状态和所述第二状态交替出现，且所述第二状态持续时间小于预设时间t时，判定所述硬件参数无异常且硬件存在偶发性干扰。
10.根据权利要求7所述的硬件参数的监控装置，其特征在于，所述监控装置还包括报警模块，用于在所述硬件参数异常和/或硬件存在持续性干扰时，输出报警。
11.根据权利要求7至10中任意一项所述的硬件参数的监控装置，其特征在于，所述监控装置还包括第一订阅模块，用于对硬件参数进行订阅读取。
12.根据权利要求7至10中任意一项所述的硬件参数的监控装置，其特征在于，所述监控装置还包括第二订阅模块，用于对标记的状态进行订阅读取。
13.一种半导体处理系统，所述半导体处理系统包括半导体处理设备、附属于所述半导体处理设备的附属设备以及监控装置，其特征在于，所述监控装置包括权利要求7至12中任意一项所述的监控装置，所述获取模块用于实时获取所述附属设备的硬件参数的实际值。
14.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至6中任意一项所述的硬件参数的监控方法的步骤。
技术总结
本发明公开了一种硬件参数的监控方法、装置、半导体处理系统和计算机可读存储介质。包括：实时获取硬件参数的实际值；将硬件参数的实际值与预设的硬件参数的目标值进行比较，并当硬件参数的实际值与硬件参数的目标值一致时，将硬件参数的状态标记为第一状态；反之，将硬件参数的状态标记为第二状态；根据第一状态或第二状态的持续时间，判断硬件参数是否存在异常以及硬件是否存在干扰。可以准确判断硬件参数是否存在异常或者硬件是否存在持续性干扰或者偶发性干扰，可以在硬件参数异常或者硬件存在持续性干扰时，中止当前工艺制程，而在硬件存在偶发性干扰时，可以不必中止当前工艺制程。能够有效提高工艺质量，降低工艺损失，提高经济效益。
技术研发人员：苏运坤
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：.08.03
技术公布日：.02.14
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