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一种上下料装置的制作方法

时间:2021-12-13 10:17:08

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本发明涉及一种上下料装置。

背景技术:

近年来,硅片切割行业传统的砂浆切割逐渐被金刚线切割所替代,硅片厚度由200微米逐步变成165微米甚至更薄,因此对硅棒加工工艺和设备提出了更高的要求,由于硅棒及晶托自重较大(总重约为80kg),上下棒需两人配合完成,再加上金钢线切割速度大幅度提升,每天切割刀数增加近一倍,每一刀均需上下棒一次,导致工人劳动强度大幅度增加,另外在下棒搬运时由于摩擦卡顿,硅片左右剧烈摆动,极易造成硅片的崩边、隐裂,严重时出现掉片,均造成较大损失。

技术实现要素:

有鉴于此,本发明提供一种上下料装置,用以解决线切机上下料的问题。

为解决上述技术问题,本发明采用以下技术方案:

根据本发明第一方面实施例的上下料装置,其特征在于,包括:

滑轮传动机构,所述滑轮传动机构包括底座和设置在所述底座上的滑轮组,所述滑轮组用于与硅棒晶托滚动连接;

导轨移动机构,所述导轨移动机构包括固定工装,设置在所述固定工装两侧的轴承副和与所述轴承副滚动连接的导轨,所述导轨与所述滑轮传动机构固定连接。

优选地,上下料装置还包括:

晶托,所述晶托包括第一安装部和与第一安装部连接的第二安装部,所述第一安装部与所述滑轮组滚动连接,所述第二安装部用于连接硅棒。

优选地,所述晶托为工型。

优选地,所述导轨为两个,所述轴承副包括对称设置的与所述固定工装固定连接的两个固定板,每一所述固定板上设有间隔设置的两个轴承,每一所述导轨滚动设置在所述两个轴承之间。

优选地,所述底座的顶端上设有凸出于所述底座表面的连接部,所述连接部连接在两个所述导轨之间,并与所述导轨通过螺栓紧固件固定连接。

优选地,所述底座的底端开设有轴向贯穿的开口宽度小于底部宽度的t型凹槽,所述滑轮组对称的固定在所述t型凹槽的两侧壁。

优选地,所述轴承副设置有多组,所述多组轴承副沿导轨移动方向间隔设置在所述固定工装上。

优选地,所述导轨移动机构,还包括:

辅助轴承副,所述辅助轴承副固定在所述固定工装的端部,与所述轴承副间隔设置,用于平衡所述固定工装负载。

优选地,所述导轨的两端设有限位部件。

优选地,上下料装置还包括:

工作台,所述工作台底端开有贯穿的凹槽,且所述凹槽上设有凸起,所述凹槽与所述晶托匹配安装,且所述凸起与所述晶托滑动连接。

本发明的上述技术方案至少具有如下有益效果之一:

根据本发明实施例的上下料装置,能够缩短上下棒的移动距离,降低硅棒移动的摩擦系数,达到降低工人劳动强度,提高工作效率和安全保障的目的,并且避免由于摩擦卡顿造成的硅片崩边和隐裂不良产生。

附图说明

图1为本发明实施例的上下料装置结构示意图;

图2为本发明实施例的滑轮传动机构结构示意图;

图3为本发明实施例的导轨移动机构示意图;

图4为本发明实施例的晶托结构示意图。

附图标记:

滑轮传动机构10;滑轮组11;底座12;螺栓孔13;

导轨移动机构20;固定工装21;轴承副22;导轨23;辅助轴承副24;

晶托30;第一安装部31;第二安装部32;

工作台40。

具体实施方式

下面首先结合附图具体描述根据本发明第一方面实施例的上下料装置。

如图1所示,根据本发明实施例的上下料装置,包括滑轮传动机构10和导轨移动机构20。

具体地,滑轮传动机构10包括底座12和设置在底座12上的滑轮组11,滑轮组11用于与硅棒晶托30滚动连接,导轨移动机构20包括固定工装21,设置在固定工装21两侧的轴承副22和与轴承副22滚动连接的导轨23,导轨23与滑轮传动机构10固定连接。

也就是说,安装时,粘接硅棒的晶托30可以从滑轮传动机构10的前部装入,挂置在滑轮传动机构10的滑轮组11上,当晶托30完全挂置在滑轮组11上时,推动晶托30,晶托30沿着推动的方向在滑轮组11中滚动移动,同时,滑轮传动机构10的底座12与导轨移动机构20的导轨23固定连接,推动底座12,底座12带动导轨23沿着推动方向在轴承副22中滚动移动。

由此,通过滑轮和滚动轴承的滚动摩擦,降低硅棒移动时滑轮传动机构10与导轨移动机构20的摩擦系数,可降低工人劳动强度,提高工作效率,安全保障性好,同时,有效避免由于摩擦卡顿造成的硅片崩边和隐裂不良的产生。

根据本发明实施例的上下料装置还包括晶托30,晶托30包括第一安装部31和与第一安装部31连接的第二安装部32,第一安装部31与滑轮组11滚动连接,第二安装部32用于连接硅棒。当晶托30第一安装部31从滑轮传动机构10的前部装入滑轮组11上方,沿着推动的方向在滑轮组11中滚动移动,第二安装部32粘接硅棒,从而带动硅棒沿着推动方向移动。

优选地,晶托30为工型。也就是说,晶托30的第一安装部31与第二安装部32连接部分较窄,用于装入滑轮组11上方,晶托30的第一安装部31大于滑轮组11之间的距离,从而晶托30可以挂置在滑轮传动机构10的滑轮组11上,晶托30的第二安装部32的大小与硅棒的大小相符。

优选地,导轨23可以为两个,轴承副22包括对称设置的与固定工装21固定连接的两个固定板,每一固定板上设有间隔设置的两个轴承,每一导轨23滚动设置在两个轴承之间。也就是说,导轨移动机构20的导轨23有两条,导轨移动机构20的轴承副22通过两个固定板与固定工装21固定连接,两个固定板对称设置,每一固定板上设有两个轴承,两个轴承之间有一段间隔,导轨23嵌入在两个轴承之间,推动导轨23,导轨23沿着推动方向在轴承之间滚动,从而降低了导轨23摩擦阻力,达到降低工人劳动强度,提高工作效率和安全保障的目的。

优选地,底座12的顶端上设有凸出于底座12表面的连接部,连接部连接在两个导轨23之间,并与导轨23通过螺栓紧固件固定连接。

也就是说,滑轮传动机构10的底座12与导轨移动机构20的导轨23固定连接,底座12顶端凸出的连接部嵌入在两个导轨23之间,底座12的连接部设有螺栓孔13和导轨23的螺栓孔13一一对应,通过螺栓固定连接。从而,滑轮传动机构10的底座12与导轨移动机构20的导轨23在受到推动时,可以向同一个方向移动,保证硅棒上下料正常进行。

优选地,底座12上设有的底端开设有轴向贯穿的开口宽度小于底部宽度的t型凹槽,滑轮组11对称的固定在t型凹槽的两侧壁。需要说明的是,本申请中t型凹槽是示例性的而不仅限于t型,也可以是其他形状的可将滑轮组11固定的凹槽,该结构并不能作为对本申请的限制。

也就是说,滑轮传动机构10的底座12的t型凹槽与晶托30第一安装部31的大小相匹配,滑轮组11对称的固定在t型凹槽的两侧壁,进而,晶托30可以从滑轮传动机构10的前部装入,挂置在滑轮传动机构10的滑轮组11上。

优选地,轴承副22设置有多组,多组轴承副22沿导轨23移动方向间隔设置在固定工装21上。多组轴承副22均匀间隔设置可以平衡导轨23,保证导轨23前后负载均匀,可以沿着推动方向在轴承之间平稳滚动。

根据本发明实施例的上下料装置的导轨移动机构20,还包括辅助轴承副24,辅助轴承副24固定在固定工装21的端部,并与轴承副间隔设置,。在导轨23沿着推力方向向前移动时,保证固定工装21前后负载均匀,可以避免当轴承副数量较少时无法保证固定工装负载均匀的问题,且采用辅助轴承副的成本相对轴承副成本低,节约成本。

可选地,导轨23的两端设有限位部件。也就是说,导轨23在轴承之间移动时,能够避免导轨移动距离过多而使其端部从轴承上滑脱,减少了安全隐患。

根据本发明实施例的上下料装置,还包括工作台40,工作台40底端开有贯穿的凹槽,且凹槽上设有凸起,凹槽与晶托30匹配安装,且凸起与晶托30滑动连接。

具体硅棒上下料的过程为:硅棒晶托30从滑轮传动机构10的前端推入,上棒时,导轨23和硅棒的晶托30分两段行程依次滚动移出到工作台40前端,对接好相对位置后,继续推入,滑轮组11顶端与晶托30肋部接触,沿直线方向直至硅棒晶托30完全进入工作台40正常工位;下棒时,沿相反方向拉出。

总之,根据本发明实施例的上下料装置,能够通过滚动轴承副22和滑轮的滚动摩擦替换原有工装的滑动摩擦,缩短上下棒的移动距离,降低硅棒移动的摩擦系数,达到降低工人劳动强度,提高工作效率和安全保障的目的,并且避免由于摩擦卡顿造成的硅片崩边和隐裂不良产生。

根据本发明实施例上下料装置的其他结构和操作对于本领域技术人员而言都是可以理解并且容易实现的,因此不再详细描述。

以上所述是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明所述原理的前提下,还可以作出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

技术特征:

1.一种上下料装置,其特征在于,包括:

滑轮传动机构,所述滑轮传动机构包括底座和设置在所述底座上的滑轮组,所述滑轮组用于与硅棒晶托滚动连接;

导轨移动机构,所述导轨移动机构包括固定工装,设置在所述固定工装两侧的轴承副和与所述轴承副滚动连接的导轨,所述导轨与所述滑轮传动机构固定连接。

2.根据权利要求1所述的上下料装置,其特征在于,还包括:

晶托,所述晶托包括第一安装部和与第一安装部连接的第二安装部,所述第一安装部与所述滑轮组滚动连接,所述第二安装部用于连接硅棒。

3.根据权利要求2所述的上下料装置,其特征在于,所述晶托为工型。

4.根据权利要求1所述的上下料装置,其特征在于,所述导轨为两个,所述轴承副包括对称设置的与所述固定工装固定连接的两个固定板,每一所述固定板上设有间隔设置的两个轴承,每一所述导轨设置在所述两个轴承之间。

5.根据权利要求4所述的上下料装置,其特征在于,所述底座的顶端上设有凸出于所述底座表面的连接部,所述连接部连接在两个所述导轨之间,并与所述导轨通过螺栓紧固件固定连接。

6.根据权利要求2所述的上下料装置,其特征在于,所述底座的底端开设有轴向贯穿的开口宽度小于底部宽度的t型凹槽,所述滑轮组对称的固定在所述t型凹槽的两侧壁。

7.根据权利要求1所述的上下料装置,其特征在于,所述轴承副设置有多组,多组所述轴承副沿导轨移动方向间隔设置在所述固定工装上。

8.根据权利要求1所述的上下料装置,其特征在于,所述导轨移动机构,还包括:

辅助轴承副,所述辅助轴承副固定在所述固定工装的端部,与所述轴承副间隔设置,用于平衡所述固定工装负载。

9.根据权利要求1所述的上下料装置,其特征在于,所述导轨的两端设有限位部件。

10.根据权利要求2所述的上下料装置,其特征在于,还包括:

工作台,所述工作台底端开有贯穿的凹槽,且所述凹槽上设有凸起,所述凹槽与所述晶托匹配安装,且所述凸起与所述晶托滑动连接。

技术总结

本发明提供一种上下料装置,包括:滑轮传动机构,所述滑轮传动机构包括底座和设置在所述底座上的滑轮组,所述滑轮组用于与硅棒晶托滚动连接;导轨移动机构,所述导轨移动机构包括固定工装,设置在所述固定工装两侧的轴承副和与所述轴承副滚动连接的导轨,所述导轨与所述滑轮传动机构固定连接。根据本发明实施例的上下料装置能够缩短上下棒的移动距离,通过滑轮和滚动轴承副的滚动摩擦,降低硅棒移动的摩擦系数,达到降低工人劳动强度,提高工作效率和安全保障的目的,并且避免由于摩擦卡顿造成的硅片崩边和隐裂不良产生。且该工装结构简单,便于生产和制造。

技术研发人员:孙玉虎;张顺;郭峰

受保护的技术使用者:晶海洋半导体材料(东海)有限公司

技术研发日:.11.29

技术公布日:.02.21

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